現(xiàn)階段人們對(duì)半導(dǎo)體材料越來(lái)越高的加工工藝、加工質(zhì)量和加工效率的實(shí)際需求,本文提出了多片內(nèi)圓切片機(jī)的概念,并進(jìn)行了相關(guān)的設(shè)計(jì)研發(fā)工作。
首先,針對(duì)現(xiàn)有全自動(dòng)內(nèi)圓切片機(jī)自動(dòng)化程度和切割效率低下、勞動(dòng)力資源消耗大的不足,通過(guò)對(duì)內(nèi)圓切片機(jī)的加工工藝過(guò)程的研究,確定了多片內(nèi)圓切片機(jī)的組成和布局,并在箱體式立式結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,對(duì)其支承系統(tǒng)、主軸切割系統(tǒng)和進(jìn)給系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)的設(shè)計(jì)研究。
其次,利用ANSYS有限元分析軟件對(duì)主軸和張刀系統(tǒng)進(jìn)行了靜力學(xué)和動(dòng)力學(xué)方面的仿真分析；通過(guò)對(duì)仿真結(jié)果的分析,計(jì)算出了主軸的相關(guān)剛度和臨界轉(zhuǎn)速,確定出了適合本多片內(nèi)圓切片機(jī)的主軸單元,總結(jié)出了預(yù)緊壓力、接觸面的摩擦系數(shù)和接觸面的形狀等因素的變化對(duì)刀片張緊效果的影響曲線,確定出可獲得較好刀片張緊效果的各影響因素的范圍。
最后,為提高加工精度,延長(zhǎng)升降板和導(dǎo)軌的使用壽命,對(duì)床身系統(tǒng)進(jìn)行了改進(jìn),并對(duì)新舊床身系統(tǒng)進(jìn)行有限元仿真分析,通過(guò)分析結(jié)果比較,驗(yàn)證了新床身系統(tǒng)的合理性,具有更高的切割精度和穩(wěn)定性。
通過(guò)對(duì)多片內(nèi)圓切片機(jī)實(shí)際工作狀態(tài)的監(jiān)控和評(píng)估可以得知,本次設(shè)計(jì)有效的提高了切割效率和切割精度,研究成果具有良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。
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